SVS-7(絶対圧基準高真空スイッチ)
堅牢なアルミダイカストのカバ－を用いた端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチです。
真空内検出素子として、ベロ－ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ－スタ－等に数多く使用されています。
配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7～φ11のキャップタイヤコ－ドで配線できます。
取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR継手、ヘル－ルも可能です。
| 電気容量 | |
|---|---|
| AC 250V 2.5A | DC 100V 0.5A |
| AC 125V 5A | DC 24V 2.5A |
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| 主要材質 | |||
|---|---|---|---|
| 受圧部 (接液部) |
ステンレス 真鍮(メッキ) |
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| 受圧素子 (接液部) |
高真空密閉ベロ－ズ (ステンレス、リン青銅) |
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| カバー | アルミダイカスト | ||
| スイッチボディ | フェノ－ル樹脂成形品 | ||
| 接点 | 銀、金メッキ(３μ) | ||
| スプリング | ステンレス | ||
| 流体 | 空気、ガス | ||
| 接点構成、結線方法 | |
|---|---|
 3P端子台に結線してください |
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| 結線方法 ●端子①(赤)と②(青) 真空度高くなってON 真空度低くなってOFF |
結線方法 ●端子①(赤)と③(黒) 真空度高くなってOFF 真空度低くなってON |
| 標準仕様 単位: kPa (Torr) | ||
|---|---|---|
| 圧力調整範囲(圧力レンジ) | 開閉圧力差 | 耐圧力 |
| 1.3～100 (10～756) | 2.7～8.0 (20～60) | 300 (3kg/cm²) |
圧力設定は、原則として工場設定となっております、ご注文の際は動作真空度(ON、OFF)及び接続口径をご指示ください。
上記、標準仕様以外の設定も数多くありますので、お問い合わせください。
換算式 kPa=Torr×0.133 ・ Torr=kPa÷0.133
L金具
取り付けに便利なL金具を用意しております。