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                    SVS-7シリ−ズ(絶対圧基準高真空スイッチ)

1.3〜100kPa(10〜756Torr)という高真空から低真空まで設定可能な真空スイッチです。

真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。

半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−ポンプ等に数多く使用されています。

取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR、ヘル−ルも可能です


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カタログ
機種名 特徴 真空度範囲 耐圧
kPa
(Torr) 
kPa
(kg/cm2
PDF SVS-7 堅牢なアルミダイカストのカバ−を用いた端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチです。 
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−ポンプ等に数多く使用されています。
配線取りつけは、スイッチ内部に3P端子台がついており、被覆外径φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。   
1.3〜100
(10〜755)
300
(3)

L金具・・・・・・・・・・取り付けに便利なL金具を用意しております。

真空スイッチシリ−ズ
  SVS-1/SVS-5/SVS-6/SVS-7/SVS-18/可調整VD