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SVS-6
標準型絶対圧基準高真空スイッチです。

真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為、気圧の変動を受けにくい構造になっています。

半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置等に数多く使用されています。

取りつけは、フランジ型となっております。
見たい方向の矢印にマウスを合せてください
電気容量
AC 250V 2.5A DC 100V 0.5A
AC 125V 5A DC 24V 2.5A

SVS-6の外形図
主要材質 接点構成、結線方法
受圧部
(接液部)
真鍮(メッキ) SVS-6の結線図
受圧素子
(接液部)
高真空密閉ベロ−ズ
(リン青銅)
カバ−     ポリカ−ボネ−ト
ボディ フェノ−ル樹脂成形品
接点 銀、金メッキ(3μ)
スプリング ステンレス
流体 空気、ガス 結線方法
●端子 弊屐砲鉢◆弊帖
 真空度高くなってOFF
 真空度低くなってON
結線方法
●端子 弊屐砲鉢(黒)
  真空度高くなってON
  真空度低くなってOFF
標準仕様  単位: kPa (Torr)
SVS-6
圧力調整範囲
(圧力レンジ)
0.67〜20 (5〜150)
開閉圧力差 0.67〜13 (5〜100)
耐圧力 150 (1.5kg/cm2)
標準設定 0.67−1.33(5-10)


圧力設定は、原則として工場設定となっております、ご注文の際は動作真空度 (ON、OFF)をご指示ください。
上記、標準仕様以外の設定も数多くありますので、お問い合わせください。
換算式  kPa=Torr×0.133 ・ Torr=kPa÷0.133

PDFカタログ

真空スイッチシリ−ズ  SVS-1/SVS-5/SVS-6/SVS-7/SVS-18/可調整VD